Cum funcționează creșterea epitaxială?

Cuprins:

Cum funcționează creșterea epitaxială?
Cum funcționează creșterea epitaxială?

Video: Cum funcționează creșterea epitaxială?

Video: Cum funcționează creșterea epitaxială?
Video: Epitaxy 2024, Martie
Anonim

Epitaxie, procesul de creștere a unui cristal cu o anumită orientare deasupra altui cristal, în care orientarea este determinată de cristalul subiacent. crearea diferitelor straturi în plăcile semiconductoare, cum ar fi cele utilizate în circuitele integrate, este o aplicație tipică pentru proces.

Cum se realizează creșterea epitaxială?

Metode. Siliciul epitaxial este de obicei crescut folosind epitaxie în fază de vapori (VPE), o modificare a depunerilor chimice de vapori. Epitaxia cu fascicul molecular și fază lichidă (MBE și LPE) sunt de asemenea utilizate, în principal pentru semiconductori compuși. Epitaxia în fază solidă este folosită în principal pentru vindecarea daunelor cristalelor.

Ce gaz este folosit pentru creșterea epitaxială?

În timpul ciclului de creștere epitaxială, napolitanele de GaAs precurățate sunt încărcate într-o cameră verticală a reactorului de cuarț care conține un rezervor superior de lichid elementar galiu peste care se dozează gazul HCl anhidru, formând GaCl3.

La ce folosește stratul epitaxial?

dispozitive fotonice

Pentru emisia sau detectarea eficientă a fotonilor, este adesea necesar să se limiteze aceste procese la straturi semiconductoare foarte subțiri. Aceste straturi subțiri, crescute deasupra plachetelor semiconductoare în vrac, sunt numite straturi epitaxiale deoarece cristalinitatea lor se potrivește cu cea a substratului, chiar dacă…

Care sunt parametrii cheie care trebuie controlați în creșterea epitaxială?

Procesul de creștere presupune optimizarea parametrilor principali, adică temperatura, presiunea și debitele de gaz, pentru a obține controlul total al selectivității (adică nuclearea polisiliciului în zona câmpului), peretele lateral fațetare, generare de defecte și autodoping.

Recomandat: